Vertical Type
반도체 제조공정 내 Wafer 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot으로 정밀한 위치 제어, 높은 신뢰성/정밀성 등을 특징으로 하고 있습니다.
- 6", 8", 12" Wafer 대응 가능 (협의 필요)
- Slide 구조로 진직도 및 속도 향상
- Arm Stroke : 480mm
- Z축 Option (Low Pass Line 및 Long Stroke 대응) : Stroke 및 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 등)
- 주행축 Option : Stroke 및 Type (리니어, Belt, Bass Screw, Rack Pinion 등)
Linear Type
반도체 제조공정 내 Wafer 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot으로 정밀한 위치 제어, 높은 신뢰성/정밀성 등을 특징으로 하고 있습니다.
- 6", 8", 12" Wafer 대응 가능 (협의 필요)
- Slide 구조로 진직도 및 속도 향상
- Arm Stroke : 480mm
- Z축 Option (Low Pass Line 및 Long Stroke 대응) : Stroke 및 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 등)
- 주행축 Option : Stroke 및 Type (리니어, Belt, Bass Screw, Rack Pinion 등)
Standard Robot
반도체 제조공정 내 Wafer 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot으로 정밀한 위치 제어, 높은 신뢰성/정밀성 등을 특징으로 하고 있습니다.
- 6", 8", 12" Wafer 대응 가능 (협의 필요)
- Link Arm Size 여러 종류 확보로 Stroke 대비 최소 회전 반경으로 Stroke 대응 가능 (Single / Dual)
* 100mm, 130mm, 150mm, 165mm, 175mm, 250mm
- Wafer Size에 최적화된 Link Arm 적용하여 최소 회전 반경 구현
- Z축 Option (Low Pass Line 및 Long Stroke 대응) : Stroke 및 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 등)
- 주행축 Option : Stroke 및 Type (리니어, Belt, Bass Screw, Rack Pinion 등)
Reverse Robot
반도체 제조공정 내 Wafer 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot으로 정밀한 위치 제어, 높은 신뢰성/정밀성 등을 특징으로 하고 있습니다.
- 6", 8", 12" Wafer 대응 가능 (협의 필요)
- Flip Stroke : 0~180°
- Z축 Option (Low Pass Line 및 Long Stroke 대응) : Stroke 및 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 등)
- 주행축 Option : Type (리니어, Belt, Bass Screw, Rack Pinion 등)
Telescopic Robot
반도체 제조공정 내 Wafer 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot으로 정밀한 위치 제어, 높은 신뢰성/정밀성 등을 특징으로 하고 있습니다.
- 6", 8", 12" Wafer 대응 가능 (협의 필요)
- 2단 텔레스코프 방식의 Body
- Link Arm Size 여러 종류 확보하여 Stroke 대비 최소 회전 반경으로 Stroke 대응 가능 (Single / Dual)
*100mm, 130mm, 150mm, 165mm, 175mm, 250mm
- Wafer Size 에 최적화된 Link Arm 적용으로 최소 회전 반경 구현
- Z축 Option (Low Pass Line 및 Long Stroke 대응) : Stroke 및 Type (Telescopic type, Belt, Ball Screw 등)
- 주행축 Option : Stroke 및 Type (리니어, Belt, Bass Screw, Rack Pinion 등)
