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Product

WTR

  • Wafer handling, loading/unloading
  • 정밀한 위치 제어
  • 높은 신뢰성, 높은 정밀성
  • CC-LINK, RS-232통신
WTR

Features

  • 반도체 제조 공정 내 Wafer의 이송 및 적재에 활용되는 Transfer Robot입니다.
  • * 고객 요청에 따른 Customizing 대응 검토 가능하오니 문의해 주십시오.

Specification

Specification

Model

Arm Type

Object spec

Motion range

Speed

Repeatability

Payoad (Kgf)

Clean Class

Vertical Type (RAW112)

Slide Arm

6", 8", 12" 대응 가능

T axis : 330°
Z axis : 1,130mm
L/R axis : ±480mm
X aixs : Customer Spec

T axis : 720°/s
Z axis : 2,000mm/s
L/R axis : 2,000mm
X aixs : 1,875mm

±0.1mm

Max. 1Kgf

Class 10

Linear Type (RAW422)

Slide Arm

6", 8", 12" 대응 가능

T axis : 330°
Z axis : 300mm
L/R axis : ±480mm
X aixs : Customer Spec

T axis : 240°/s
Z axis : 588mm/s
L/R axis : 360°/s
X aixs : 1,875mm

±0.1mm

Max. 1Kgf

Class 10

Standard Robot (RAW412)

Link Arm

6", 8", 12" 대응 가능

T axis : 330°
Z axis : 300mm
L/R axis : ±340mm
X aixs : Customer Spec

T axis : 360°/s
Z axis : 500mm/s
L/R axis : 360°/s
X aixs : 1,500mm

±0.1mm

Max. 1Kgf

Class 10

Reverse Robot (RAW461)

Link Arm

6", 8", 12" 대응 가능

T axis : 330°
Z axis : 300mm
L/R axis : ±340mm
X aixs : Customer Spec

T axis : 360°/s
Z axis : 500mm/s
L/R axis : 180°/s
X aixs : 1,875mm

±0.1mm

Max. 1Kgf

Class 10

Telescopic Robot (RAW522)

Link Arm

6", 8", 12" 대응 가능

T axis : 330°
Z axis : 650mm
L/R axis : ±340mm
X aixs : Customer Spec

T axis : 360°/s
Z axis : 500mm/s
L/R axis : 360°/s
X aixs : 1,875mm

±0.1mm

Max. 1Kgf

Class 10